知识星球（星球名：芯片制造与封测技术社区，点击加入）里的学员问：电镀的阳极有什么讲究？什么是可溶性阳极和非可溶性阳极？
什么是可溶性阳极与非可溶性阳极？
可溶性阳极
阳极本身就是被电镀的金属材料，在电镀过程中会发生氧化反应而溶解，为电解液持续补充金属离子。
电流通过后：
阴极（晶圆）发生金属离子还原 → 金属沉积
阳极发生金属氧化反应 → 金属原子进入电解液成为离子
不可溶性阳极
阳极采用不参与电化学反应的惰性材料，仅起导电作用。金属离子完全来自电镀液中预添加的金属盐。
工作原理
阴极：金属离子还原沉积
阳极：水或其他离子发生氧化（如放出氧气），阳极不溶解
阳极的材质有哪些？
可溶性阳极：
| 电镀类型 | 常用阳极材质 |
|---|---|
| 铜电镀 | 磷铜阳极（Cu-P） ，含0.04%~0.08%磷，可防止阳极泥生成，提高稳定性 |
| 镍电镀 | 电解镍板或球状镍 （高纯度Ni） |
| 金电镀 | 金板或金丝 ，较少使用，成本高 |
| 锡电镀 | 锡条或Sn合金 |
不可溶性阳极：
| 材料常见选择 | 适用场景 |
|---|---|
| 铂涂层钛网（Pt/Ti） | 贵金属电镀（如金、铑） |
| 铱钽涂层钛（Ir-Ta/Ti） | 稳定性高，适用于酸性镀液 |
| 石墨 | 镍、锌等电镀中有时也会使用，成本低 |
| 不锈钢 | 某些实验室电镀工艺或特殊研究用途 |
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